帶有XTrace微點(diǎn)X射線(xiàn)源的Micro-XRF將完整的micro-XRF光譜儀的功能添加到掃描電子顯微鏡中。 XTrace適用于幾乎任何SEM的自由傾斜腔室端口。用戶(hù)可以從微量元素靈敏度和XRF分析的更高信息深度中受益。

　　用戶(hù)友好的用于SEM的Micro-XRF系統

　　使用HyperMap進(jìn)行分布分析可存儲每個(gè)地圖點(diǎn)的完整光譜，以進(jìn)行在線(xiàn)和離線(xiàn)分析可以使用Micro-XRF和EDS分析樣品而無(wú)需改變位置這兩種方法都集成在同一個(gè)分析軟件套件中 - ESPRIT 2.0不干擾正常的SEM操作，XTrace可以在大多數時(shí)間保持在其測量位置。

　　完整的micro-XRF光譜儀，無(wú)需投資

　　分析結果與獨立系統的結果相比較

　　圖像平鋪允許映射大區域

　　可選擇的初級輻射濾波器，以抑制衍射峰

　　使用SEM電動(dòng)載物臺

　　允許樣品傾斜以產(chǎn)生最小光斑尺寸。

　　易諾與美國伊諾斯公司（Innov-X）開(kāi)發(fā)生產(chǎn)的伊諾斯Innov-X光譜儀有著(zhù)良好的合作關(guān)系。