來(lái)自X射線(xiàn)管的主要光子具有足夠高的能量，從而將電子從最里面的軌道中敲出，形成空位（1）。來(lái)自外軌道的電子將移動(dòng)到內軌道的新空位，以恢復原子內的穩定性（2）。

　　原子 - 電子 - 熒光特征四 - 由于外軌道的電子進(jìn)入內軌道，它以二次X射線(xiàn)光子的形式釋放能量。這種能量釋放被稱(chēng)為熒光。所有元素產(chǎn)生熒光“特征”給自己。每個(gè)元素的熒光本身都是獨一無(wú)二的。

　　結果可以以百分比的形式或頻譜來(lái)查看。 XRF將每秒處理（數字化，計數）約20萬(wàn)個(gè)或更多個(gè)X射線(xiàn)。 這些檢測到的X射線(xiàn)形成光譜。 光譜中的每個(gè)峰值來(lái)自由特定元素如Cr或Ni等發(fā)射的特征x射線(xiàn)。

　　峰的高度與元素的濃度成比例。 峰值高度通過(guò)校準方法轉換為該元素的百分比或ppm（基本參數或出廠(chǎng)或用戶(hù)派生的經(jīng)驗校準）