X射線(xiàn)熒光光譜儀(X-rayFluorescenceSpectrometer,簡(jiǎn)稱(chēng):XRF光譜儀),是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線(xiàn)熒光(X-rayfluorescence,XRF)是用高能量X射線(xiàn)或伽瑪射線(xiàn)轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級X射線(xiàn)。
XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品,樣品中的元素內層電子被擊出后,造成核外電子的躍遷,在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候,會(huì )放射出特征X光;不同的元素會(huì )放射出各自的特征X光,具有不同的能量或波長(cháng)特性。
不同元素發(fā)出的特征X射線(xiàn)熒光能量和波長(cháng)各不相同,因此通過(guò)對其的能量或者波長(cháng)的測量即可知道它是何種元素發(fā)出的,進(jìn)行元素的定性分析。射線(xiàn)強度與相應元素在樣品中的含量有關(guān),因此通過(guò)測試其強度實(shí)現元素的定量分析。
檢測器(Detector)接受這些X光,儀器軟件系統將其轉為對應的信號。這一現象廣泛用于元素分析和化學(xué)分析,在某種程度上與原子吸收光譜儀實(shí)現互補。